高纯氢气发生器(CVD,MOCVD/金刚石MPCVD/半导体专用氢气发生器)不仅能够提供高纯度、稳定压力的氢气，还具有多项结构优势和应用功能，是半导体制造过程中重要的设备。

相比昂贵且危险的高压氢气钢瓶，氢气发生器具有很大的优势。它只需要去离子水和供电即可产生氢气，一次加水可持续工作长达15天，成本低廉。

HYDROGEN-2L/3L氢气发生器只需提供去离子水和供电即可产生氢气，设备是一种能够连续可靠地产生高纯度氢气的设备，其纯度可达到99.9999%以上。

HYDROGEN/5L/10L/17L氢气发生器是由超纯水机制取二级水，并储存至水箱备用的设备。当氢气发生器缺水时，它会自动供给水。此外，多台氢气发生器还可以串联使用，通过串联控制线由一台发生器控制其他发生器，实现产气均匀分配。

CVD,MOCVD专用氢气发生器操作方便使用时只需打开电源开关即可产氢，使用后无需泄压，直接关闭电源即可。可连续使用，也可间断使用，产氢量稳定不衰减。

高压氢气发生器工作原理主要涉及水电解和化学反应两个方面。在高压氢气发生器中，通过通电使水电解，产生氢气和氧气，然后将氢气收集起来，供应给工业生产中需要使用氢气的设备和工艺。