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应用领域 | 医疗卫生,食品,化工 |
半导体专用氮气发生器(腔体保护气,干泵吹扫气)
型号:NITROGEN-M-100/200
Peculiar针对LC/MS氮气流量、纯度、压力的特殊要求专门设计了安全、高效、方便的半导体专用氮气发生器,它可以产生纯度高达99.5%的洁净、干燥氮气,符合半导体行业腔体保护气,干泵吹扫气要求,包含APCI及ESI接口。
半导体专用氮气发生器(腔体保护气,干泵吹扫气)主要技术参数:
◎流量:0-100/200L/min @100psi(7bar)
◎工作环境:5C-40℃ 湿度80%
◎使用最高海拔:2200m
◎露点:<-55℃
◎颗粒:<0.01μm
◎滞留液体:无
◎邻苯二甲酸:无
◎噪声:<47dB(A)
◎开机纯化时间:30min
◎功率:8000W
◎电力要求:220V 50Hz